捷克TESCAN MIRA 3,SEM利用二次电子和背散射电子信号,通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等信息。
日本电子/JEOL JEM-2100、日本日立/HITACHI HT7800(120kV)TEM,是聚焦电子束投射到非常薄的样品上,透过样品的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析样品内部的微观组织结构。
德国Bruker Multimode 8,一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。